本期著重對電子潔凈室（區(qū)）要求及檢測方法進(jìn)行詳細(xì)闡述。
住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部聯(lián)合質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局于2008年12月15日發(fā)布電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范，并于2009年07月01日實施。為在電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計中，做到技術(shù)、經(jīng)濟(jì)適用、安全可靠、節(jié)約資源、降低能耗、確保質(zhì)量，并符合勞動衛(wèi)生和環(huán)境保護(hù)的要求制定本規(guī)范。本規(guī)范適用于新建、擴(kuò)建和改建的電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計。
1、生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計的要求
1.1潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級應(yīng)按現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。
1.2各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級所處狀態(tài)（空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)）應(yīng)與業(yè)主協(xié)商確定。
1.3各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝確定，無要求時，可按本規(guī)范附錄A確定
1.4潔凈室（區(qū)）的溫度和相對濕度應(yīng)按表1確定。
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房間類型 |
溫度，℃ |
相對濕度，% |
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冬季 |
夏季 |
冬季 |
夏季 |
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生產(chǎn)工藝有要求的潔凈室 |
按具體生產(chǎn)工藝要求確定 |
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生產(chǎn)工藝無要求的潔凈室 |
≤22 |
24 |
30～50 |
40～70 |
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人員凈化及生活用室 |
～18 |
～28 |
—— |
—— |
1.5單向流和混合流潔凈室（區(qū)）的噪聲級（空態(tài)）不應(yīng)大于65dB（A），非單向流潔凈室（區(qū)）的噪聲級（空態(tài)）不應(yīng)大于60dB（A）。
2.1潔凈廠房的位置選擇和總平面布置
2.1.1潔凈廠房位置的選擇，應(yīng)根據(jù)下列要求經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定∶
2.1.2應(yīng)布置在大氣含塵和有害氣體或化學(xué)污染物濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域；
2.1.3應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路，碼頭、飛機(jī)場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體或化學(xué)污染物的工廠、貯倉、堆場等有嚴(yán)重空氣污染、振動或噪聲干擾或強(qiáng)電磁場的區(qū)域。不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時，則應(yīng)位于全年頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)；
2.1.4在廠區(qū)內(nèi)應(yīng)布置在環(huán)境清潔、污染物少、和物流不穿越或少穿越的地段。
2.1.5潔凈廠房凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)口與城市交通干道之間的距離（相鄰側(cè)邊沿）宜大于50m。當(dāng)潔凈廠房與交通干道之間沒有城市綠化帶時，可根據(jù)具體條件適當(dāng)減少，但不得小于25m。
2.1.6對于有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應(yīng)實際測定周圍現(xiàn)有振源和模擬振源的影響，并應(yīng)與容許振動值比較分析后確定。
2.1.7廠區(qū)總平面布置時，應(yīng)按潔凈生產(chǎn)、非潔凈生產(chǎn)、輔助生產(chǎn)、公用動力系統(tǒng)和辦公、生活等功能區(qū)合理布局。潔凈廠房宜根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和各種功能區(qū)的要求，按組合式、大體量的綜合性廠房布置。
2.1.8清凈廠房周圍及其周邊的道路面層，應(yīng)選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。
2.1.9潔凈廠房周圍應(yīng)進(jìn)行綠化，但不宜種植對生產(chǎn)環(huán)境和產(chǎn)品質(zhì)量有影響的植物。
2.1.10潔凈廠房宜設(shè)置環(huán)形消防車道，若有困難時可沿廠房的兩長邊側(cè)設(shè)消防車道。消防車道的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。
2.2潔凈室型式
2.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。
2.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應(yīng)包括活動地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定，各種空氣潔凈度等級的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度要求嚴(yán)格時，宜采用微環(huán)境等型式。
2.3潔凈室布置和綜合協(xié)調(diào)
2.3.1潔凈廠房的平面布置應(yīng)合理安排潔凈生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和動力區(qū)，并應(yīng)符合下列要求∶
1潔凈室（區(qū)）人員凈化、物料凈化和各種輔助用房，應(yīng)合理分區(qū)布置；
2生產(chǎn)工藝或生產(chǎn)設(shè)備有特殊要求時，宜分隔為單獨的房間；
3生產(chǎn)過程中排放腐蝕性氣體的生產(chǎn)設(shè)備或生產(chǎn)工序應(yīng)分類、集中布置或與其他生產(chǎn)房間分隔；
4發(fā)熱量、發(fā)生量大的生產(chǎn)工序或生產(chǎn)設(shè)備，宜與空氣潔凈度要求嚴(yán)格的房間分隔布置；
5潔凈室（區(qū)）的輔助設(shè)備、維修間等技術(shù)支持區(qū)，宜集中布置在潔凈室（區(qū)）的相鄰房間，技術(shù)支持區(qū)的空氣潔凈度等級應(yīng)低
于潔凈室（區(qū)）的等級；
6若需在潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)置潔凈電梯時，應(yīng)采取氣閘間、潔凈送風(fēng)措施；
7應(yīng)符合有關(guān)防爆、防火、消防等要求。
2.3.2潔凈室（區(qū)）的空間布置應(yīng)滿足下列要求；
1生產(chǎn)設(shè)備、物料運輸系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求布置，并應(yīng)做到有效、靈活和操作方便；
2各類管線的空間布置應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝、安全間距和維修要求；
3～終端空氣過液器、照明燈具和各種公用動力設(shè)施的布置，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝、潔凈度等級、安全生產(chǎn)和維修要求；
4清凈生產(chǎn)層的高度應(yīng)按生產(chǎn)設(shè)備、微環(huán)境裝置和物料運輸設(shè)備的外形尺寸確定。技術(shù)夾層高度應(yīng)根據(jù)具體工程要求確定。
2.3.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)應(yīng)少分隔，但下列情況應(yīng)予分隔∶
1按火災(zāi)危險性分類，甲、乙類的房間與相鄰的生產(chǎn)區(qū)段或房間之間，或有防火分隔要求時，應(yīng)設(shè)隔墻；
2在電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，經(jīng)常不同時使用的兩個生產(chǎn)區(qū)段或房間之間；
3生產(chǎn)過程中排放影響產(chǎn)品質(zhì)量的有害氣體或化學(xué)污染物的工序、設(shè)備，宜分隔設(shè)獨立房間。
2.3.4潔凈廠房的布置應(yīng)綜合協(xié)調(diào)生產(chǎn)操作、設(shè)備安裝和維修、公用動力管線、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各類技術(shù)設(shè)施的需要。
2.4工藝設(shè)計
2.4.1潔凈廠房的工藝設(shè)計、工藝布局應(yīng)為電子產(chǎn)品發(fā)展以及產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)預(yù)留必要的條件。
2.4.2潔凈廠房工藝設(shè)計應(yīng)確定各種生產(chǎn)條件，在滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求的前提下，應(yīng)做到安全性能好、建設(shè)投資少、能量消耗少、運行費用低、生產(chǎn)效率高。
2.4.3潔凈廠房工藝設(shè)計應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求設(shè)置路線、物料運輸和倉儲設(shè)施。
2.4.4潔凈廠房的工藝布置應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設(shè)備的安裝和維修、物料運輸?shù)纫蟠_定。在單向流潔凈室內(nèi)進(jìn)行生產(chǎn)工藝設(shè)備、操作程序、人員流動路線和物料傳輸布置時，應(yīng)采取避免發(fā)生氣流干擾和交叉污染的措施。
2.4.5工藝布局應(yīng)避免和物流之間的混雜和交叉，宜分別設(shè)置人員入口、物料入口和設(shè)備出入口，并應(yīng)在各自的入口處設(shè)置祖應(yīng)的凈化設(shè)施。
2.4.6在滿足生產(chǎn)工藝和微振控制，噪聲控制等要求的前提下，空氣潔凈度嚴(yán)格的潔凈室（區(qū)）宜靠近空調(diào)機(jī)房布置；空氣潔凈度等級相同的工序或工作室宜集中布置。
2.4.7潔凈室（區(qū)）內(nèi)要求空氣潔凈度嚴(yán)格的工序（設(shè)備）應(yīng)遠(yuǎn)離出入口和可能干擾氣流的場所設(shè)置，并宜布置在上風(fēng)側(cè)；易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置或下風(fēng)側(cè)。
2.4.8工藝布置時，應(yīng)根據(jù)大型生產(chǎn)工藝設(shè)備的運輸、安裝、維修的要求設(shè)置運輸通道、安裝口或檢修口。
2.4.9潔凈廠房內(nèi)不同空氣潔凈度等級的潔凈室（區(qū)）之間聯(lián)系頻繁時，應(yīng)采取防止污染的措施。
2.5人員凈化
2.5.1人員凈化用室和設(shè)施應(yīng)根據(jù)潔凈室的規(guī)模、空氣潔凈度等級設(shè)置，并應(yīng)設(shè)置生活用室。人員凈化用室宜按下圖的人員凈化程序進(jìn)行布置。
2.5.2人員凈化用室，應(yīng)根據(jù)換鞋（凈鞋）、更外衣、更潔凈工作服等的需要設(shè)置。雨具存放、廁所、盥洗室、淋浴室，休息室等生活用房和空氣吹淋室、氣閘室、潔凈工作服洗滌間及干燥間等其他用室，可根據(jù)需要設(shè)置。
2.5.3潔凈廠房內(nèi)人員凈化用室和生活用室的建筑面積，應(yīng)根據(jù)清凈室的規(guī)模、空氣潔凈度等級和潔凈室內(nèi)工作人員數(shù)量等確定，宜按潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)計人數(shù)平均2～4m2/人計算。
2.5.4人員凈化用室和生活用房的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定∶
1凈鞋設(shè)施應(yīng)設(shè)在潔凈室入口處；
2更換外衣和更換潔凈工作服用室不應(yīng)設(shè)置在同一房間內(nèi)；
3外衣存放柜應(yīng)按潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)計人數(shù)配置；
4應(yīng)設(shè)置存放潔凈工作服，且?guī)в锌諝鈨艋拇嬉略O(shè)施；
5應(yīng)設(shè)置感應(yīng)式洗手和烘干設(shè)施；
6廁所宜設(shè)在進(jìn)入人員凈化用室之前，需設(shè)在人員凈化用室內(nèi)時，應(yīng)設(shè)置前室。
2.5.5潔凈廠房空氣吹淋室的設(shè)計，應(yīng)符合下列要求∶
1在潔凈室（區(qū)）的入口處宜設(shè)空氣吹淋室。當(dāng)不設(shè)空氣吹淋室時，應(yīng)設(shè)氣閘室；
2吹淋室應(yīng)設(shè)在更換潔凈工作服后的相鄰部位；
3單人空氣吹淋室，應(yīng)按班人數(shù)每30人設(shè)一臺。潔凈室（區(qū)）工作人員超過5人時，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)單向旁通門；
4空氣吹淋室的進(jìn)、出門不得同時開啟，應(yīng)采取連鎖控制措施；
5空氣潔凈度等級為5級或嚴(yán)于5級的垂直單向流潔凈室（區(qū)），宜設(shè)氣閘室。
2.5.6人員凈化用室和生活用室的空氣清凈度等級，宜由外至內(nèi)逐步潔凈，室內(nèi)可送入經(jīng)過空氣過濾的潔凈空氣。
潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級；當(dāng)設(shè)有潔凈工作服洗滌室時，洗滌室的空氣潔凈度等級宜為8級。
2.6物料凈化
2.6.1潔凈室（區(qū)）內(nèi)的設(shè)備和物料出入口，應(yīng)獨立設(shè)置，并應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料的特征，性質(zhì)、形狀等設(shè)置凈化用室及相應(yīng)物準(zhǔn)設(shè)施。
2.6.2物料凈化用室與潔凈室（區(qū)）之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗。
2.7設(shè)備及工器具
2.7.1潔凈室（區(qū)）內(nèi)應(yīng)采用具有防塵、防污染的生產(chǎn)設(shè)備和輔助生產(chǎn)設(shè)備，并應(yīng)符合下列要求∶
1表面應(yīng)光潔、易清潔、不積塵、不揮發(fā)化學(xué)物質(zhì)；
2設(shè)備的傳動部件等應(yīng)密封性能好，并應(yīng)防止?jié)櫥?、冷卻劑等的泄漏；
3對生產(chǎn)中發(fā)塵、排熱量大或排出有毒、可燃?xì)怏w的設(shè)備，應(yīng)采取防擴(kuò)散措施；
4設(shè)備的金屬外殼應(yīng)設(shè)置接地設(shè)施。
2.7.2當(dāng)設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室（區(qū)）時，宜采取密封隔斷措施。
2.7.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當(dāng)所選設(shè)備超過潔凈室噪聲容許值時，應(yīng)采取隔聲措施。
2.7.4潔凈室（區(qū)）應(yīng)設(shè)置對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進(jìn)行凈化處理的設(shè)施。
2.7.5清凈室（區(qū)）內(nèi)，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用容器。用于存放和傳送的容器，應(yīng)符合下列規(guī)定∶
1制作材料應(yīng)光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電，并在空氣中不應(yīng)被氧化；
2應(yīng)密封性能好；
3當(dāng)存放物有嚴(yán)格的潔凈度要求時，宜充填高純度或干燥氮氣；
4構(gòu)造、外形應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)方便操作和運送。
2.7.6潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)置真空泵時，應(yīng)符合下列規(guī)定；
1使用油潤滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置，除油后尾氣應(yīng)排入排氣系統(tǒng)；
2對傳輸含有可燃?xì)怏w的真空泵，可燃?xì)怏w濃度超過下限的20%時，應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃?xì)怏w組分；
3傳輸易燃、自燃化學(xué)品或高濃度氧氣的真空泵，應(yīng)采用不燃泵油，并應(yīng)配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。
2.8空氣凈化系統(tǒng)
2.8.1潔凈廠房內(nèi)各潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級，應(yīng)積據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和潔凈室型式確定。
2.8.2氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室（區(qū)）空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點的不同要求選用。
2.8.3有下列情況之一者，凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置；
1運行班次或使用時間不同；
2生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質(zhì)對其他工序、設(shè)備交叉污染，對產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響；
3對溫、濕度控制要求差別大；
4潔凈室（區(qū)）內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊；
5凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)；
6系統(tǒng)風(fēng)量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。
2.8.4潔凈室（區(qū)）內(nèi)的溫度、相對濕度應(yīng)符合本規(guī)范第1.4條的規(guī)定。
2.8.5潔凈室（區(qū)）內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)符合現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定。
2.8.6潔凈室（區(qū)）與周圍的空間應(yīng)保持一定的靜壓差，靜壓差應(yīng)符合下列規(guī)定∶
1各潔凈室（區(qū)）與周圍空間的靜壓差應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定；
2不同等級的潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa;
3潔凈室（區(qū)）與非潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa;
4潔凈室（區(qū)）與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa。
2.8.7潔凈室（區(qū)）維持靜壓差值所需的壓差風(fēng)量，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。
2.8.8送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉聯(lián)鎖、控制要求，應(yīng)符合現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定。
2.8.9非連續(xù)運行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)，并應(yīng)進(jìn)行凈化處理。
2.8.10潔凈室（區(qū)）的清掃方式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級等因素確定。潔凈室（區(qū)）宜采用移動式真空吸塵器。對于空氣潔凈度等級為1～5級的潔凈室宜設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)，潔凈室內(nèi)的吸塵系統(tǒng)管道應(yīng)暗敷。
2.8.11氣流流型和送風(fēng)量
2.8.12氣流流型的設(shè)計，應(yīng)符合下列要求∶
1氣流流型應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級的要求?？諝鉂崈舳鹊燃墳?/span>1～5級時，應(yīng)采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級為6～9級時，宜采用非單向流；
2清凈室工作區(qū)的氣流流速應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和工作人員健康的要求。
2.8.13潔凈室的送風(fēng)量，應(yīng)符合現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定。
2.8.14潔凈室（區(qū)）所需的滿足空氣潔凈度等級的潔凈送風(fēng)量和氣流流型，宜按下表計算。
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空氣潔凈度等級 |
氣流流型 |
平均風(fēng)速 |
換氣次數(shù) |
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1～5 |
單向流動或混合流 |
0.2～0.45 |
—— |
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6 |
非單向流 |
—— |
50～60 |
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7 |
非單向流 |
—— |
15～25 |
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8～9 |
非單向流 |
—— |
10～15 |
注：換氣次數(shù)適用于層高小于4.0m的潔凈室。室內(nèi)人員少熱源少時，宜采用下限值。
2.9照明
潔凈室（區(qū)）的主要生產(chǎn)用房間一般照明的照度值宜為300～500Lx；輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200～300Lx。
對照度有特出要求的電子產(chǎn)品生產(chǎn)部位應(yīng)設(shè)置局部照明，其照度值應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)操作的要求規(guī)定。
2.10防靜電與對地泄漏電阻值
2.10.1防靜電環(huán)境設(shè)計應(yīng)按電子產(chǎn)品或生產(chǎn)工序進(jìn)行分級。防靜電環(huán)境內(nèi)靜電電位值應(yīng)小于電子產(chǎn)品的靜電電位安全值。防靜電環(huán)境設(shè)計應(yīng)分為三級，房間點環(huán)境設(shè)計分級適用場所應(yīng)符合下表。
|
防靜電級別 |
靜電電位值 |
適用場所 |
|
一級 |
≤100 |
1. 半導(dǎo)體器件、集成電路、平板顯示器制造和測試的場所。 2. 電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中操作1級靜電敏感部件制造和測試場所 |
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二級 |
≤200 |
1、靜電敏感精密電子儀器的測試和維修場所 2、靜電敏感電子器件制造和測試的場所 |
|
三級 |
≤1000 |
除一級、二級場所以外的電子器件和整機(jī)的組裝，調(diào)試場所 |
2.10.2潔凈廠房防靜電環(huán)境中，防靜電地面的面層結(jié)構(gòu)和材料應(yīng)符合下列要求：
1房間點地面面層的選擇，應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求；
2防靜電地阿敏的表層材料應(yīng)采用靜電耗散性材料，靜電耗散性材料表面電阻率應(yīng)為2.5×104～1×109Ω；
3防靜電地面應(yīng)設(shè)置導(dǎo)靜電泄放設(shè)施和接地連接，其地面對地泄放電阻值應(yīng)為1×105～1×108Ω；
3潔凈室（區(qū)）性能測試和認(rèn)證
3.1通則
3.1.1潔凈蜜（區(qū)）應(yīng)定期進(jìn)行性能測試。以認(rèn)證潔凈室（區(qū)）始終符合本規(guī)范的要求。
3.1.2潔凈室（區(qū)）性能測試認(rèn)證工作，應(yīng)由專門檢測認(rèn)證單位承擔(dān)，并應(yīng)提交檢測報告。
3.1.3測試和認(rèn)證工作之前，系統(tǒng)應(yīng)達(dá)到穩(wěn)定運行。測試儀表應(yīng)在標(biāo)定證書有效使用期內(nèi)。
3.1.4潔凈室（區(qū)）的占用狀態(tài)應(yīng)有空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)，其性能測試和認(rèn)證宜為靜態(tài)或動態(tài)。
3.2潔凈室（區(qū)）性能測試要求
3.2.1確認(rèn)清凈室（區(qū)）符合本規(guī)范要求，應(yīng)進(jìn)行下列基本測試∶
1空氣潔凈度等級測定；
2靜壓差；
3風(fēng)速或風(fēng)量。
3.2.2空氣潔凈度等級、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)的認(rèn)證測試的長時間間隔應(yīng)符合下表1和表2的規(guī)定。
空氣潔凈度等級認(rèn)證的測試要求
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空氣潔凈度等級 |
長時間間隔（月） |
測試方法 |
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1～5 |
6 |
見4.4 |
|
6～9 |
12 |
見4.4 |
靜壓差和風(fēng)速或風(fēng)量認(rèn)證的測試要求
注：1潔凈室（區(qū)）運行中已對粒子濃度、風(fēng)速、靜壓差進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測，且其測試值均符合本規(guī)范要求時，認(rèn)證的測試時間間隔可延長，具體時間間隔，可與認(rèn)證單位洽商。
2空氣潔凈度等級認(rèn)證，可在靜態(tài)或者動態(tài)檢測，洽商確定。
3風(fēng)量測定，應(yīng)采用風(fēng)速計在風(fēng)口或風(fēng)管測定。
3.2.3電子工業(yè)潔凈室（區(qū)）的認(rèn)證測試，除空氣潔凈度等級、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量測試外，還應(yīng)根據(jù)需要進(jìn)行下表規(guī)定的洽商選擇測試項目。
|
測試項目 |
空氣潔凈度等級 |
建議長的時間間隔（月） |
測試方法 |
|
已安裝過濾器泄漏 |
所有潔凈度等級 |
24 |
見4.3 |
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氣流流型目測 |
|
24 |
見4.5 |
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溫度 |
|
12 |
見4.6 |
|
相對濕度 |
|
12 |
見4.6 |
|
照度 |
|
24 |
見4.8 |
|
噪聲 |
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＞12 |
見4.7 |
|
自凈時間 |
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＞24 |
見4.10 |
|
密閉性 |
|
＞24 |
見4.11 |
4潔凈室測試方法
4.1風(fēng)量或風(fēng)速的測試
4.1.1對于單向流潔凈室，應(yīng)采用截面平均風(fēng)速和截面乘積的方法確定送風(fēng)量，并應(yīng)取離過森器300mm垂直于氣流的截面作為測試平面。應(yīng)將測試平面分成相等的柵格，每個柵格尺寸應(yīng)為600mm×600mm或末端空氣過濾器尺寸，測點應(yīng)在柵格中心或不應(yīng)少于3點。每一點的測試時間不應(yīng)少于10s。應(yīng)記錄平均值、值和值，并應(yīng)以算術(shù)平均值作為平均風(fēng)速。
4.1.2對于非單向流潔凈室，每一點的測試時間不應(yīng)少于10s。3在每個末端空氣過濾器或散流器處，應(yīng)采用風(fēng)口法、風(fēng)管法、風(fēng)罩法等測量送風(fēng)風(fēng)速確定送風(fēng)量，每個測試位置的測點數(shù)不應(yīng)少于3點。
4.2靜壓差測試
4.2.1靜壓差的測定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時進(jìn)行。
4.2.2儀器宜采用各種型式的微壓計，儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。
4.2.3潔凈廠房有多個潔凈室（區(qū)）時，應(yīng)從里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始，并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測。
4.3已安裝的空氣過濾器泄漏測試
4.3.1儀器應(yīng)使用采樣量大于1l/min的光學(xué)粒于計數(shù)器。
4.3.2應(yīng)在過濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1μm（0.5μm）粒子，粒子濃度應(yīng)大于3.5×10'P/m3的大氣塵或其他氣溶膠；在過濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計數(shù)器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20～30mm處，并應(yīng)以5～20mm/s速度移動。應(yīng)檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。
4.4潔凈度的檢測
4.4.1應(yīng)使用采樣量大于1L/min光學(xué)粒子計數(shù)器，應(yīng)根據(jù)粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數(shù)效率等要求選用儀器。儀器應(yīng)有有效的標(biāo)定合格證書。
4.4.2少采樣點應(yīng)按下式計算：
NL=A0.5
式中：NL——少采樣點
A——潔凈室或被控潔凈區(qū)的面積（㎡）；
采樣點應(yīng)均勻布置于潔凈室（區(qū)）的整個面積內(nèi)，并應(yīng)位于工作區(qū)高度。
4.4.3每一采樣點的每次采樣量應(yīng)按下式確定：
式中VS——每個采樣點的每次采樣量，以l表示，當(dāng)V，很大時，可使用順序采樣法。每個采樣點的采樣時間為1min，采樣量應(yīng)至少為2L;
C——被測潔凈室空氣潔凈度等級的被測粒徑的限值（p/m'）;
20——在規(guī)定被測粒徑粒子的空氣潔凈度等級限值時，可測到的粒子顆數(shù)（顆）。
4.4.4當(dāng)潔凈室（區(qū)）僅有一個采樣點時，則在該點應(yīng)至少采樣3次。
4.5氣流流型的檢測
1氣流流型的檢測，宜采用氣流目測法。
2氣流目測法有示蹤線法、示蹤劑注入法，并應(yīng)用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應(yīng)成為潔凈室（區(qū)）的一種污染源。
3示蹤線法應(yīng)為通過觀察放置在測試桿末端或氣流中細(xì)鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等，直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動。
4示蹤劑注入法，可采用純水噴霧或化學(xué)法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性，在高強(qiáng)度光源下進(jìn)行觀察或做成圖像。
5應(yīng)采用圖像處理技術(shù)進(jìn)行氣流目測，本法一般是與示蹤法結(jié)合，將在攝像機(jī)或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。
6氣流目測的測點位置、儀器等，應(yīng)根據(jù)潔凈室（區(qū)）的具體條件洽商確定。
4.6溫度、相對濕度的檢測
1溫度、相對濕度的檢測應(yīng)在潔凈室（區(qū)）內(nèi)氣流分布均勻狀態(tài)測試，并應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)試運轉(zhuǎn)合格后安排進(jìn)行。溫度、相對濕度檢測應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)運轉(zhuǎn)，并應(yīng)至少穩(wěn)定運行1.0h后進(jìn)行。
2相對濕度檢測應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積網(wǎng)格，每格面積應(yīng)為100m2，應(yīng)每格—個測點，但每個房間不應(yīng)少于2個測點。
3檢測用探測器應(yīng)設(shè)在潔凈室（區(qū)）內(nèi)的工作高度，且距潔凈室（區(qū)）的吊頂、墻和地面不應(yīng)少于300mm。并應(yīng)考量潔凈室（區(qū)）內(nèi)可能存在的熱源的影響。
4檢測時間應(yīng)至少1.0h，并應(yīng)至少6min進(jìn)行1次（30s）讀數(shù)、記錄。
4.7噪聲檢測
1潔凈室（區(qū)）內(nèi)的噪聲檢測應(yīng)采用帶倍頻程分析的聲級計。
2潔凈室（區(qū)）內(nèi)的噪聲檢測點應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測點宜距地面1.1～1.5m，距墻應(yīng)大于3m；檢測點的布置宜按清凈室（區(qū)）面積均分，宜每100m2設(shè)一檢測點。
4.8照度測試
1潔凈室（區(qū)）內(nèi)照度檢測宜采用便攜式自動記錄照度計。2照度檢測應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定、光源光輸出穩(wěn)定后進(jìn)行。潔凈室（區(qū)）照度檢測不應(yīng)包括生產(chǎn)設(shè)備等的局部照明和備用照明。
3照度檢測點應(yīng)設(shè)在工作高度，宜距地面0.85m，應(yīng)每25m2設(shè)一個測點。
4.9微振檢測
1清凈室（區(qū)）內(nèi)有微振控制要求的場所的檢測，應(yīng)采用符合精密設(shè)備、儀器容許振動值要求的微振測試分析系統(tǒng)進(jìn)行分階段測試。
2微振檢測點應(yīng)根據(jù)潔凈室（區(qū)）內(nèi)箭進(jìn)行微振控制的精密設(shè)備、儀器的布置和微振控制設(shè)計的要求設(shè)置，—般檢測點應(yīng)設(shè)在微振控制相關(guān)的地面、樓面、基礎(chǔ)面等。
3微振控制的檢測應(yīng)由具有相應(yīng)資質(zhì)的單位進(jìn)行?，F(xiàn)場檢測數(shù)據(jù)等應(yīng)經(jīng)過科學(xué)分析后，提供微振控制檢測報告，應(yīng)包括檢測數(shù)據(jù)的分析、結(jié)論等。
4.10自凈間檢測
1自凈時間的檢測，宜用于非單向流潔凈室。
2自凈時間的檢測，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn)，并宜以粒子計數(shù)器進(jìn)行檢測，同時應(yīng)符合下列要求；
1）以大氣塵為基準(zhǔn)時，則必須將潔凈室停止運行相當(dāng)時間，
在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時，測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度（N0）。然后開機(jī)，定時讀數(shù)（—般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次），直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來的穩(wěn)定狀態(tài)，記錄下所需的時間（t）。
2）以人工塵源為基準(zhǔn)時，應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心，發(fā)煙1～2min后停止，等待1min，測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度（N0）。然后開機(jī)，方法同上。
3由初始濃度（N0）、室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度（N）、實際換氣次數(shù)（n），可得到計算自凈時間（t0），與實測自凈時間（t）進(jìn)行對比，如果≤1.2t0為合格。
4自凈時間檢測方法除上述方法外，還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應(yīng)洽商確定。
4.11密閉性檢測
1密閉性檢測或稱抑制滲漏測試，是測定清凈室（區(qū)）有無受污染的空氣從周圍具有相同或不相同靜壓的較低潔凈度等級的潔凈室（區(qū)）或非潔凈室（區(qū)）侵入。本檢測一般用于ISO1～5級潔凈室（區(qū)）。
2采用粒子計數(shù)器法檢測潔凈室（區(qū)）的密閉性，檢測時應(yīng)先測量緊靠被測圍護(hù)結(jié)構(gòu)表面外部的懸浮粒子濃度，一般此濃度應(yīng)比潔凈室（區(qū)）內(nèi)濃度大104，并大于等于3.5×106個/m3待測粒徑的粒子。
3潔凈室（區(qū)）的施工接縫，包括對墻板、吊頂?shù)慕涌p和管線、
燈具等的接縫的滲漏檢測，應(yīng)在被測部位的50～100mm處掃描，其掃描速度為50mm/s。
潔凈室散開門處的滲漏檢測，應(yīng)在距離門0.3-3.0m處測定潔凈室內(nèi)的懸浮粒子濃度。記錄并報告比測得的外部相同粒徑粒子濃度大于10-3倍的讀數(shù)和位置。
5認(rèn)證
5.1潔凈廠房性能測試認(rèn)證前，應(yīng)由業(yè)主與認(rèn)證單位簽訂協(xié)議書，協(xié)議書中應(yīng)明確檢測項目、測點位置及數(shù)量、測量要求和限值等，如測量空氣懸浮粒子濃度采樣點數(shù)、每次少的空氣采樣量、采樣時間、每個采樣點的測量次數(shù)、測量時間間隔、被計數(shù)粒子的粒徑，以及粒子數(shù)的限值等。
5.2按協(xié)議書規(guī)定及本附錄第3節(jié)的要求，以及本附錄第4節(jié)的方法進(jìn)行測試，若測試結(jié)果在規(guī)定的限值之內(nèi)，說明該潔凈室（區(qū)）符合規(guī)定要求。若測試結(jié)果超過規(guī)定的限值，說明該潔凈室（區(qū)）不符合要求，應(yīng)進(jìn)行改進(jìn)，在完成改進(jìn)工作之后，應(yīng)進(jìn)行再認(rèn)證。
5.3每次性能測試或再認(rèn)證測試應(yīng)做記錄，并提交性能合格或不合格的綜合報告。測試報告應(yīng)包括下列內(nèi)容；
1'測試機(jī)構(gòu)的名稱、地址；
2測試日期和測試者簽名；
3執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)的編號及標(biāo)準(zhǔn)出版日期；
4被測試潔凈室（區(qū)）的地址、測試項目、測點的特定編號及坐標(biāo)圖；
5被測潔凈室（區(qū)）的空氣清凈度等級、被測粒徑、被測清凈室（區(qū)）所處的狀態(tài)，氣流流型和靜壓差、全部采樣點坐標(biāo)圖上注明所測的粒子濃度；
6測量用儀器的編號和標(biāo)定證書；測試方法細(xì)則及測試中特殊情況；
7測試結(jié)果包括所有測試項目的記錄數(shù)據(jù)、分析結(jié)論等；
8對異常測試值進(jìn)行說明及數(shù)據(jù)處理；
9注明上次的測試日期；
10設(shè)施的測試檔案可作為下次檢測計劃的依據(jù)。
5.4測試機(jī)構(gòu)應(yīng)提交潔凈室檢驗證書、再檢驗證書。
6記錄
6.1記錄保存應(yīng)符合質(zhì)量控制程序的要求。
6.2應(yīng)按常規(guī)或定期的測試方法和儀表檢測，將初始觀察記錄、計算、數(shù)據(jù)處理和終報告，以及測試評價、報告人員簽名和日期進(jìn)行存襠。
